2020-03-09

マスフローコントローラ  フルスケール流量20000(CCM) 対応ガスHe   SEC-E50MK3-20LM  2-757-06


【特長】
●流量設定値まで1秒以内(T98)の高速応答の流量計です。
●高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
●オートゼロアジャスト機能を搭載しています。


【仕様】
●型番:SEC-E50MK3-20LM
●対応ガス:He
●本体サイズ:127×32×126mm
●フルスケール流量(CCM):20000
●流量精度:±1%F.S.(精度保証範囲:15℃〜35℃)
●応答速度:1秒以内(T98)
●流量制御範囲:2〜100%F.S.
●継手:SW】1/4Swagelok相当
※別売の電源一体型制御ユニットと接続ケーブルを合わせてご使用ください。